我國研制出新型光學晶體:可滿足晶圓檢測需求
來源:快科技 編輯:非小米 時間:2023-07-14 21:03人閱讀
快科技7月14日消息,中國科學院成功研制出一種新型非線性光學晶體,可以實現整個透光范圍內的激光輸出,滿足我國半導體晶圓檢測等領域的重大需求。
據了解,非線性光學晶體是獲得不同波長激光的物質條件和源頭。在晶體中實現應用波段相位匹配被普遍認為是重要的技術挑戰之一,決定最終激光輸出的功率和效率。
其中,利用晶體各向異性的雙折射相位匹配技術是應用最廣泛的彌補相位失配的有效途徑。
研究結果表明,全波段相位匹配晶體寬的相位匹配波長范圍,使非線性光學晶體透光范圍得到充分應用,可實現1064納米激光器二、三、四、五倍頻高效、大能量輸出,有望滿足半導體晶圓檢測等領域的重大需求。
同時,該晶體具有生長容易、成本低、效率高、抗激光損傷等優勢,有望成為應用于大科學裝置的新晶體材料。研究者表示,在晶體制備方面,研究團隊已獲中國發明專利授權,并已向歐洲、美國、日本等提交國際專利申請。
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